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產品簡介
                OLED顯微鏡是利用金屬光激發(fā)OLED發(fā)光后測量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量著重于準確度,系統(tǒng)底座采用鑄件/花崗石本體結構,減震系統(tǒng)克服環(huán)境震動問題,可解決高倍率解析時的震動問題。系統(tǒng)采用XY軸光學尺模塊可實現(xiàn)跨距量測。
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產品名稱:OLED顯微鏡
產品簡介:OLED顯微鏡是利用金屬光激發(fā)OLED發(fā)光后測量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量測著重于準確度,系統(tǒng)底座采用鑄件/花崗石本體結構,減震系統(tǒng)克服環(huán)境震動問題,可解決高倍率解析時的震動問題。系統(tǒng)采用XY軸光學尺模塊可實現(xiàn)跨距量測。光學系統(tǒng)采用Nikon/Olympus熒光顯微鏡光路實現(xiàn)對OLED的激發(fā)。人性化計算機量測模式,有效提高觀察定位效率。專為使用者設計*機型,使操作更便利、測量更迅速。
產品特點:
手動量測系統(tǒng)XY采用精密無牙螺桿傳動,減少齒輪傳動偏移誤差
線性馬達/伺服馬達用于自動化量測傳動系統(tǒng),能實現(xiàn)高精度測量
系統(tǒng)采用被動式or主動式減震系統(tǒng),能克服環(huán)境震動問題,可解決高倍率解析時的震動問題
系統(tǒng)使用Nikon/Olympus 熒光顯微光路,有效激發(fā)OLED發(fā)射光譜
系統(tǒng)使用人體工學設計理念設計,符合友好化測量
設備應用:
設備主要應用OLED的顯微分析和蒸鍍測量上
量測工具  | 點,線,圓,弧,橢圓,槽型,曲線等各項不規(guī)則外型取樣  | 
形位公差  | 真圓度,同心度,垂直度,傾斜度,位置度,等各項形位公差設置  | 
UV功能驗證  | UV光源下圖像清晰  | 
斷面測量  | 按照PO spec要求進行測試并保存結果  | 
自動計算offset  | 根據蒸鍍有機材料的位置與設定的蒸鍍位置對比,計算offset;或者是將UV光圖像位置和上光源下圖片位置對比,計算offset  | 
UV光和鹵素光自動切換  | 在軟件中點擊切換按鈕后,可以自動切換光源并呈現(xiàn)相應的圖像  | 
SPC  | 軟件須附帶SPC功能,量測之數據須能自動導出作分析  | 
報表輸出  | 軟件可客制化輸出客戶所需之 EXCEL,TXT,WORD,JPG  | 
7.3.2 設備配置&特征 7.3.2System Configuration& Characteristic 
 
  | 外部尺寸:L*W*H≤2500*2500*2000mm  | 
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*測量行程:X*Y≥750*650mm Z≤100mm  | 
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重量:≤5000kg  | 
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承重:≥10kg Capacity: ≥10kg  | 
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*高測量準確度:XYZ≤1μm *Maximum Accuracy: XYZ≤1μm  | 
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*機臺重復性:≤1μm *Machine Repeatability:≤1μm  | 
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XYZ最小移動距離:XYZ≤1um XYZ minimum move distance: XYZ≤1um  | 
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XYZ移動精度: XYZ≤1um XYZ move precision: XYZ≤1um  | 
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*XYZ軸移動速度: XYZ≤200mm/s  | 
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7.3.3機械本體 7.3.3 Mechanics  | 主機:影像測量系統(tǒng),四軸CNC控制 Machine: 4-axis CNC video measuring machine  | 
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機械結構:花崗巖或相同性能材質 Structure: Granite or comparable material  | 
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平面度公差:≤7um Platness Tolerance: ≤7um  | 
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*光柵尺分辨率:XYZ≤0.5um  | 
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*攝像機:彩色相機,200萬像素,WAN接口 *Camera: Color camera, 2000000 pixels, the wan interface  | 
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*CCD芯片尺寸:≥2/3英寸 *CCD Size: ≥2/3 inch  | 
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光學系統(tǒng)配置:檢偏鏡,起偏鏡,紅藍綠濾光片,0.5X C接口,明暗場光學系統(tǒng),五孔電動鼻輪 The optical system configuration: a polarizer, red green and blue filters, 0.5X C-mount, bright and dark field optical body, five holeelectric nose-wheel  | 
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*光學放大倍率:5X/10X/20X/50X/100X  | 
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光源特征:光源可以采用鹵素燈、汞燈,壽命滿足SPEC要求  | 
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7.3.5電控系統(tǒng)、 7.3.5 Control System  | 電機:直流伺服電機 Dynamo:DC servo motor  | 
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操作類型:鼠標和操作手柄,按鍵 Control Type: Mouse and Joystick  | 
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7.3.6軟件系統(tǒng) 7.3.6 Software System  | 功能:點,直線,圓,弧,橢圓,槽等測量功能,帶有線追蹤功能,粒子計數,軟件定位系統(tǒng),軟件控制光源亮度,軟件控制電動鼻輪,軟件控制孔徑光闌  | 
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圖像:可復制,可進行大面積圖形無縫拼接 Image: can copy  | 
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*數據格式:JPG/Excel *Data format: JPG/Excel  | 
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7.3.7 其它 7.3.7 Others  | *防微振裝置:達到VC-B級別的防震平臺 *Anti-vibration device: Yes  | 
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*靜電防護:離子風棒 *ESD: BUAS  | 
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